技術(shù)專利
一種插板閥以及立式雙室熱絲CVD系統(tǒng)
一種束源爐坩堝
一種掩膜版切換機構(gòu)以及真空鍍膜設(shè)備
一種超高真空磁控濺射靶以及磁控濺射裝置
一種磁控濺射靶組件
一種鍍膜設(shè)備樣品臺組件
一種矩形平面濺射靶
一種立式雙室熱絲CVD系統(tǒng)
一種熱絲CVD設(shè)備
一種線槽組件以及電控模組
一種旋轉(zhuǎn)樣品臺及分子束外延設(shè)備
一種用于熱絲薄膜沉積的熱絲固定組件
真空鍍膜設(shè)備機柜
多功能磁控濺射儀系統(tǒng)軟件
PVD薄膜沉積系統(tǒng)軟件
單室高真空PECVD薄膜制備設(shè)備電源系統(tǒng)軟件
電子束蒸鍍薄膜沉積系統(tǒng)軟件
多功能磁控濺射雙進氣系統(tǒng)
多功能磁控濺系統(tǒng)三靶材1路混氣閥系統(tǒng)軟件
多功能磁控濺系統(tǒng)三靶材3路混氣閥系統(tǒng)軟件
聯(lián)系人：戴小姐
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