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熱絲化學(xué)氣相沉積（HFCVD）金剛石涂層設(shè)備廠家《地震資訊》

發(fā)布時(shí)間：

2024-07-22

金剛石作為超寬帶隙半導(dǎo)體材料，具有高載流子遷移率、高熱導(dǎo)率、高擊穿電場(chǎng)、高載流子飽和速率和低介電常數(shù)等優(yōu)異物理特性，被認(rèn)為是制備下一代高功率、高頻、高溫及低功率損耗電子器件的“終極半導(dǎo)體”。

　　金剛石作為超寬帶隙半導(dǎo)體材料，具有高載流子遷移率、高熱導(dǎo)率、高擊穿電場(chǎng)、高載流子飽和速率和低介電常數(shù)等優(yōu)異物理特性，被認(rèn)為是制備下一代高功率、高頻、高溫及低功率損耗電子器件的“終極半導(dǎo)體”。
　　我國金剛石半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)與先進(jìn)國家相比存在：1、關(guān)鍵設(shè)備依賴進(jìn)口，無自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，易遭到國外封鎖；2、缺乏大尺寸金剛石襯底制備和薄膜外延生長工藝；3、金剛石研磨、鍵合、減薄技術(shù)不成熟等差距。本項(xiàng)目集合高校頂級(jí)科研團(tuán)隊(duì)和工業(yè)界優(yōu)秀工程師團(tuán)隊(duì)，打通產(chǎn)業(yè)化所需的高質(zhì)量金剛石薄膜生長、HFCVD熱絲CVD金剛石設(shè)備定制、晶圓拋磨鍵合減薄等研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)節(jié)，從工具級(jí)、熱學(xué)級(jí)產(chǎn)品切入，并將持續(xù)推動(dòng)光學(xué)級(jí)、電子級(jí)甚至量子級(jí)產(chǎn)品研發(fā)。
　　鵬城半導(dǎo)體技術(shù)（深圳）有限公司（簡稱：鵬城半導(dǎo)體）自主研發(fā)的HFCVD熱絲化學(xué)氣相沉積設(shè)備（熱絲化學(xué)氣相沉積（HFCVD）金剛石涂層設(shè)備）可用于微米晶、納米晶金剛石晶圓片生產(chǎn)，也可制造防腐耐磨硬質(zhì)涂層、金剛石BDD電極、太陽能薄膜電池等。

　　自主研發(fā)生產(chǎn)的單/雙面鍍膜熱絲CVD金剛石設(shè)備（HFCVD）可制備金剛石多晶晶圓片襯底尺寸：2英寸、4英寸、6英寸、8英寸。

金剛石薄膜生產(chǎn)線

 

6英寸金剛石散熱晶圓片

　　應(yīng)用領(lǐng)域：第三代半導(dǎo)體、大功率激光器、10G通訊、微納聲學(xué)、功放器件、濾波器件等；可用于力學(xué)級(jí)別、熱學(xué)級(jí)別、光學(xué)級(jí)別、聲學(xué)級(jí)別的金剛石產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)。
　　公司簡介：
　　鵬城半導(dǎo)體技術(shù)（深圳）有限公司，由哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳）與有多年實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)的工程師團(tuán)隊(duì)共同發(fā)起創(chuàng)建。公司立足于市場(chǎng)前沿、產(chǎn)業(yè)前沿和技術(shù)前沿的交叉點(diǎn)，尋求創(chuàng)新引領(lǐng)與可持續(xù)發(fā)展，解決產(chǎn)業(yè)的痛點(diǎn)和國產(chǎn)化難題，爭(zhēng)取產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。
　　公司核心業(yè)務(wù)是微納材料（含半導(dǎo)體材料）、微納制造工藝、微納裝備的研發(fā)設(shè)計(jì)和生產(chǎn)制造。
　　科研型設(shè)備：PVD、CVD、MBE分子束外延等。
　　工業(yè)生產(chǎn)型設(shè)備：大型蒸鍍?cè)O(shè)備、多弧離子源鍍膜設(shè)備、矩形磁控濺射鍍膜設(shè)備、電子束蒸發(fā)設(shè)備、OLED鍍膜設(shè)備、HFCVD熱絲化學(xué)氣相沉積設(shè)備、真空高溫CVD爐、六英寸MBE生產(chǎn)設(shè)備。
　　公司技術(shù)和產(chǎn)品可以廣泛應(yīng)用于：新材料、新能源、微電子光電子、半導(dǎo)體、聲學(xué)、光學(xué)、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）；傳感器、生物醫(yī)學(xué)、精準(zhǔn)醫(yī)療、大健康、環(huán)保、微納機(jī)器人、表面技術(shù)等領(lǐng)域。
　　公司核心研發(fā)團(tuán)隊(duì)知識(shí)結(jié)構(gòu)完整，有以哈工大教授和博士為核心的高水平材料研究和工藝研究團(tuán)隊(duì)，還有來自工業(yè)界的高級(jí)裝備設(shè)計(jì)師團(tuán)隊(duì)。公司團(tuán)隊(duì)具有20多年的微納材料與器件研究（含半導(dǎo)體材料）、PVD/CVD沉積技術(shù)研究、外延技術(shù)研究、薄膜制備成套裝備設(shè)計(jì)和生產(chǎn)制造的經(jīng)驗(yàn)。

 

新聞中心

展會(huì)邀請(qǐng)丨鵬城半導(dǎo)體誠邀您蒞臨2025中國材料大會(huì)！

“中國材料大會(huì)2025”將于2025年7月5-8日在福建省廈門國際會(huì)展中心舉行，大會(huì)預(yù)計(jì)規(guī)模30000人，擬設(shè)115個(gè)國內(nèi)(際)分會(huì)，涵蓋能源材料、環(huán)境材料、先進(jìn)結(jié)構(gòu)材料、功能材料、材料設(shè)計(jì)制備與評(píng)價(jià)等5大類主題；同時(shí)開設(shè)一批特色論壇，包括青年論壇、特色新材料論壇、材料教育論壇、材料期刊論壇等，除此之外，還同期舉行國際新材料科研儀器與設(shè)備展覽會(huì)等。

鵬城半導(dǎo)體亮相聚焦“卡脖子”和“前沿必爭(zhēng)”領(lǐng)域-2025中國材料大會(huì)

“中國材料大會(huì)2025”：作為新材料領(lǐng)域國家級(jí)學(xué)術(shù)品牌大會(huì)，面向國家重大需求，匯聚最權(quán)威的專家學(xué)者和國家級(jí)戰(zhàn)略科技力量，聚焦“卡脖子”領(lǐng)域和“前沿必爭(zhēng)”領(lǐng)域的關(guān)鍵突破，推動(dòng)高端學(xué)術(shù)研討，解決行業(yè)發(fā)展中重大共性問題和新興產(chǎn)業(yè)推進(jìn)中重大難題，搶占全球新材料發(fā)展的學(xué)術(shù)制高點(diǎn)，形成體系化國家級(jí)戰(zhàn)略布局，為推動(dòng)我國新質(zhì)生產(chǎn)力建設(shè)打造堅(jiān)實(shí)的物質(zhì)基礎(chǔ)與保障。

全球MBE市場(chǎng)穩(wěn)步增長，中國鵬城半導(dǎo)體突破技術(shù)壟斷

2021年，全球分子束外延（MBE）系統(tǒng)市場(chǎng)規(guī)模約為5.5億元人民幣，展望至2028年，這一數(shù)字預(yù)計(jì)將攀升至9.6億元，意味著在2022至2028年間，該市場(chǎng)將以8.3%的年復(fù)合增長率持續(xù)壯大。分子束外延系統(tǒng)在半導(dǎo)體及基礎(chǔ)材料研究領(lǐng)域發(fā)揮著關(guān)鍵作用，其消費(fèi)主力軍包括歐洲、美國、日本以及中國等工業(yè)體系完備的國家，它們共同占據(jù)了全球超過八成的市場(chǎng)份額。

轉(zhuǎn)發(fā) 科創(chuàng)要聞 | 豐富形式促服務(wù) 精準(zhǔn)服務(wù)助創(chuàng)新

2025年5月15日是全省第十九個(gè)“政務(wù)公開日”，圍繞“深化政務(wù)公開、助力決戰(zhàn)決勝”的活動(dòng)主題，沈陽市科技創(chuàng)新服務(wù)中心以政務(wù)公開為契機(jī)，結(jié)合沈陽市科技創(chuàng)新政策宣傳與助企服務(wù)需求，開展了專題調(diào)研走訪活動(dòng)。此次調(diào)研的為鵬城微納技術(shù)（沈陽）有限公司，旨在宣傳沈陽市科技創(chuàng)新平臺(tái)建設(shè)成效、科技條件平臺(tái)資源共享及創(chuàng)新券政策落實(shí)成果，推動(dòng)沈陽市科技中介服務(wù)聯(lián)盟協(xié)同發(fā)展，進(jìn)一步優(yōu)化營商環(huán)境，助力企業(yè)創(chuàng)新突破。

薄膜沉積設(shè)備

薄膜沉積設(shè)備分類薄膜沉積是指在硅片等襯底上沉積待處理的薄膜材料，所沉積薄膜材料主要是二氧化硅、氮化硅、多晶硅等非金屬以及銅等金屬，沉積膜可為無定形、多晶的或者單晶。