展會邀請|鵬城半導(dǎo)體誠邀您參加第七屆全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)（重慶）博覽會
發(fā)布時間：
2025-04-24
第七屆全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)（重慶）博覽會將于2025年5月8日-10日在重慶國際博覽中心舉辦，此次博覽會以“新時代·創(chuàng)造芯未來”為主題，展示面積達40000㎡，參展企業(yè)800家，吸引35000名專業(yè)觀眾到場參觀交流。
屆時鵬城半導(dǎo)體將攜前沿薄膜沉積設(shè)備及技術(shù)解決方案在S1館A131亮相?；诩{米與原子制造的PVD/CVD技術(shù)，用于高質(zhì)量的薄膜制備。例如，用磁控濺射技術(shù)進行單晶薄膜制備，將磁控濺射用于分子束外延的束流源等。展品涵蓋微納光學(xué)、聲學(xué)、醫(yī)療領(lǐng)域等熱門應(yīng)用領(lǐng)域，本次第七屆全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)（重慶）博覽會給大家?guī)砬把丶夹g(shù)及產(chǎn)品亮相，誠邀各位新老客戶撥冗蒞臨展位洽談交流！
企業(yè)介紹
鵬城半導(dǎo)體技術(shù)(深圳)有限公司，由哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳)與有多年實踐經(jīng)驗的工程師團隊共同發(fā)起創(chuàng)建。公司立足于技術(shù)前沿與市場前沿的交叉點，尋求創(chuàng)新引領(lǐng)與可持續(xù)發(fā)展，解決產(chǎn)業(yè)的痛點和國產(chǎn)化難題，爭取產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。
鵬城微納技術(shù)（沈陽）有限公司是鵬城半導(dǎo)體技術(shù)（深圳）有限公司全資子公司，是半導(dǎo)體工藝和裝備的設(shè)計中心生產(chǎn)制造基地。
公司核心業(yè)務(wù)是微納技術(shù)與高端精密制造，具體應(yīng)用領(lǐng)域包括半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體工藝和半導(dǎo)體裝備的研發(fā)設(shè)計、生產(chǎn)制造、工藝技術(shù)服務(wù)及半導(dǎo)體裝備的升級改造，可為用戶提供工藝研發(fā)和打樣。
公司人才團隊知識結(jié)構(gòu)完整，有以哈工大教授和博士為核心的高水平材料研究和工藝研究團隊；還有來自工業(yè)界的高級裝備設(shè)計師團隊，他們具有20多年的半導(dǎo)體材料研究、外延技術(shù)研究和半導(dǎo)體薄膜制備成套裝備設(shè)計、生產(chǎn)制造的經(jīng)驗。
公司依托于哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳)，具備先進的半導(dǎo)體研發(fā)設(shè)備平臺和檢測設(shè)備平臺，可以在高起點開展科研工作。公司總部位于深圳市，具備半導(dǎo)體裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、調(diào)試以及半導(dǎo)體材料與器件的中試、生產(chǎn)、銷售的能力。
產(chǎn)品介紹
1、生產(chǎn)型 TGV/TSV /TMV 高真空磁控濺射鍍膜機
生產(chǎn)型TGV/TSV/TMV 高真空磁控濺射鍍膜機（Sputter-2000W系列）該設(shè)備用于玻璃基板和陶瓷基板的高密度通孔和盲孔的鍍膜，深徑比>10:1。例如用于基板鍍膜工序Cu/Ti微結(jié)構(gòu)，Au/TiW傳輸導(dǎo)線雙體系膜層淀積能力，為微系統(tǒng)集成密度提升提供支撐。本設(shè)備優(yōu)點：膜層均勻性及重復(fù)性高，膜層附著力強，設(shè)備依據(jù)工藝配方進行可編程自動化控制。
2、生產(chǎn)型高真空磁控濺射/離子輔助/多弧復(fù)合鍍膜機
生產(chǎn)型高真空磁控濺射/離子輔助/多弧復(fù)合鍍膜機（PVD-1000S系列）該設(shè)備廣泛應(yīng)用于銑刀、鉆頭、軸承、齒輪、鏡片等表面的硬質(zhì)耐磨涂層制備，集成了工件表面處理、離子清洗、顆粒物控制、磁控濺射、離子輔助鍍膜及反應(yīng)濺射鍍膜等工藝方法于一體的PVD設(shè)備。
3、HFCVD金剛石薄膜制備設(shè)備
研發(fā)設(shè)計制造了熱絲CVD金剛石設(shè)備，分為實驗型設(shè)備和生產(chǎn)型設(shè)備兩類。設(shè)備主要用于微米晶和納米晶金剛石薄膜的研發(fā)和生產(chǎn)?？捎糜诹W(xué)級別、熱學(xué)級別、光學(xué)級別、聲學(xué)級別的金剛石產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)?？梢灾圃齑蟪叽缃饎偸嗑ЬA片，用于大功率器件、高頻器件及大功率激光器的散熱熱沉?？捎糜谏a(chǎn)制造防腐耐磨硬質(zhì)涂層；環(huán)保領(lǐng)域污水處理用的金剛石產(chǎn)品。可用于平面工件的金剛石薄膜制備，也可用于刀具表面或其它不規(guī)則表面的金剛石硬質(zhì)涂層制備?？捎糜谔柲鼙∧る姵氐难邪l(fā)與生產(chǎn)。
4、高真空磁控濺射儀
科研型高真空磁控濺射鍍膜機Circular Sputter系列是我司科研類高真空磁控濺射儀，其主要是用圓形磁控濺射靶進行濺射的方法，制備金屬、合金、化合物、半導(dǎo)體、陶瓷、介質(zhì)復(fù)合膜及其它化學(xué)反應(yīng)膜等；適用于鍍制各種單層膜、多層膜、摻雜膜及合金膜；可鍍制磁性材料和非磁性材料?？捎糜?/span>TGV/TSV/TMV 先進封裝的研發(fā)，高深徑比（≥10:1）的深孔種子層鍍膜。
5、分子束外延薄膜生長設(shè)備（MBE）
分子束外延薄膜生長設(shè)備（MBE）可以在某些襯底上實現(xiàn)外延生長工藝，實現(xiàn)分子自組裝、超晶格、量子阱、一維納米線等?？梢赃M行第二代半導(dǎo)體和第三代半導(dǎo)體的工藝驗證和外延片的生長制造。分子束外延薄膜生長設(shè)備在薄膜外延生長時具有超高的真空環(huán)境，是在理想的環(huán)境下進行薄膜外延生長，它可以排除在薄膜生長時的各種干擾因素，得到理想的高精度薄膜。
我公司設(shè)計制造的分子束外延薄膜生長實驗設(shè)備，分實驗型和生產(chǎn)型兩種，配置合理，結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，技術(shù)先進，性能可靠，用途多，實用性強，價格相對較低，可供各大學(xué)的實驗室及科研機構(gòu)作為分子束外延方面的教學(xué)實驗、科學(xué)研究及工藝實驗之用。生產(chǎn)型MBE可用于批量外延片的制備。
6、PECVD 等離子體增強化學(xué)氣相沉積
PECVD等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備主要用于在潔凈真空環(huán)境下進行氮化硅和氧化硅的薄膜生長；采用單頻或雙頻等離子增強型化學(xué)氣相沉積技術(shù)，是沉積高質(zhì)量的氮化硅、氧化硅等薄膜的理想工藝設(shè)備。
7、生產(chǎn)型高真空磁控濺射及離子輔助復(fù)合鍍膜機
生產(chǎn)型高真空磁控濺射及離子輔助復(fù)合鍍膜機（PVD-1000B系列）該設(shè)備采用磁控濺射、離子輔助、反應(yīng)濺射的工藝方法，在工件表面制備各種薄膜材料。該設(shè)備是集成了工件表面處理、離子清洗、顆粒物控制、磁控濺射、離子輔助鍍膜及反應(yīng)濺射鍍膜等工藝方法于一體的PVD設(shè)備。
第七屆全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)(重慶)博覽會
時間：2025年5月8-10日
地點：重慶國際博覽中心
主題：新時代·創(chuàng)造“芯”未來
展位號：S1館-A131
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