邀請(qǐng)函|2024全國(guó)先進(jìn)涂層與薄膜技術(shù)應(yīng)用發(fā)展大會(huì)(6.18-19蘇州)
公司簡(jiǎn)介
鵬城半導(dǎo)體技術(shù)(深圳)有限公司,由哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳)與有多年實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)的工程師團(tuán)隊(duì)共同發(fā)起創(chuàng)建。公司立足于市場(chǎng)前沿、產(chǎn)業(yè)前沿和技術(shù)前沿的交叉點(diǎn),尋求創(chuàng)新引領(lǐng)與可持續(xù)發(fā)展,解決產(chǎn)業(yè)的痛點(diǎn)和國(guó)產(chǎn)化難題,爭(zhēng)取產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。
公司核心業(yè)務(wù)是微納材料(含半導(dǎo)體材料)、微納制造工藝、微納裝備的研發(fā)設(shè)計(jì)和生產(chǎn)制造。
科研型設(shè)備:PVD、CVD、MBE分子束外延等。
工業(yè)生產(chǎn)型設(shè)備:大型蒸鍍?cè)O(shè)備、多弧離子源鍍膜設(shè)備、矩形磁控濺射鍍膜設(shè)備、電子束蒸發(fā)設(shè)備、OLED鍍膜設(shè)備、HFCVD熱絲化學(xué)氣相沉積設(shè)備、真空高溫CVD爐、六英寸MBE生產(chǎn)設(shè)備。
公司技術(shù)和產(chǎn)品可以廣泛應(yīng)用于:新材料、新能源、微電子光電子、半導(dǎo)體、聲學(xué)、光學(xué)、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS);傳感器、生物醫(yī)學(xué)、精準(zhǔn)醫(yī)療、大健康、環(huán)保、微納機(jī)器人、表面技術(shù)等領(lǐng)域。
公司核心研發(fā)團(tuán)隊(duì)知識(shí)結(jié)構(gòu)完整,有以哈工大教授和博士為核心的高水平材料研究和工藝研究團(tuán)隊(duì),還有來(lái)自工業(yè)界的高級(jí)裝備設(shè)計(jì)師團(tuán)隊(duì)。公司團(tuán)隊(duì)具有20多年的微納材料與器件研究(含半導(dǎo)體材料)、PVD/CVD沉積技術(shù)研究、外延技術(shù)研究、薄膜制備成套裝備設(shè)計(jì)和生產(chǎn)制造的經(jīng)驗(yàn)。
HFCVD熱絲化學(xué)氣相沉積設(shè)備
金剛石薄膜生產(chǎn)線
研發(fā)設(shè)計(jì)制造了熱絲CVD金剛石設(shè)備,分為實(shí)驗(yàn)型設(shè)備和生產(chǎn)型設(shè)備兩類。
設(shè)備主要用于微米晶和納米晶金剛石薄膜的研發(fā)和生產(chǎn)。可用于力學(xué)級(jí)別、熱學(xué)級(jí)別、光學(xué)級(jí)別、聲學(xué)級(jí)別的金剛石產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)。
可以制造大尺寸金剛石多晶晶圓片,用于大功率器件、高頻器件及大功率激光器的散熱熱沉。
可用于生產(chǎn)制造防腐耐磨硬質(zhì)涂層;環(huán)保領(lǐng)域污水處理用的金剛石產(chǎn)品。
可用于平面工件的金剛石薄膜制備,也可用于刀具表面或其它不規(guī)則表面的金剛石硬質(zhì)涂層制備。
可用于太陽(yáng)能薄膜電池的研發(fā)與生產(chǎn)。
熱絲CVD金剛石設(shè)備
高真空磁控濺射儀(實(shí)驗(yàn)型、生產(chǎn)型)
實(shí)驗(yàn)型-高真空磁控濺射儀
高真空磁控濺射儀是用磁控濺射的方法,制備金屬、合金、化合物、半導(dǎo)體、陶瓷、介質(zhì)復(fù)合膜及其它化學(xué)反應(yīng)膜等;適用于鍍制各種單層膜、多層膜、摻雜膜及合金膜;可鍍制磁性材料和非磁性材料。
生產(chǎn)型-高真空磁控濺射儀
分子束外延薄膜生長(zhǎng)設(shè)備(MBE)
分子束外延薄膜生長(zhǎng)設(shè)備(MBE)可以在某些襯底上實(shí)現(xiàn)外延生長(zhǎng)工藝,實(shí)現(xiàn)分子自組裝、超晶格、量子阱、一維納米線等??梢赃M(jìn)行第二代半導(dǎo)體和第三代半導(dǎo)體的工藝驗(yàn)證和外延片的生長(zhǎng)制造。
分子束外延薄膜生長(zhǎng)設(shè)備在薄膜外延生長(zhǎng)時(shí)具有超高的真空環(huán)境,是在理想的環(huán)境下進(jìn)行薄膜外延生長(zhǎng),它可以排除在薄膜生長(zhǎng)時(shí)的各種干擾因素,得到理想的高精度薄膜。
我公司設(shè)計(jì)制造的分子束外延薄膜生長(zhǎng)實(shí)驗(yàn)設(shè)備,分實(shí)驗(yàn)型和生產(chǎn)型兩種,配置合理,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,操作方便,技術(shù)先進(jìn),性能可靠,用途多,實(shí)用性強(qiáng),價(jià)格相對(duì)較低,可供各大學(xué)的實(shí)驗(yàn)室及科研機(jī)構(gòu)作為分子束外延方面的教學(xué)實(shí)驗(yàn)、科學(xué)研究及工藝實(shí)驗(yàn)之用。
生產(chǎn)型MBE可用于批量外延片的制備。
PECVD等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備
PECVD 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備主要用于在潔凈真空環(huán)境下進(jìn)行氮化硅和氧化硅的薄膜生長(zhǎng);采用單頻或雙頻等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積技術(shù),是沉積高質(zhì)量的氮化硅、氧化硅等薄膜的理想工藝設(shè)備。
會(huì)議名稱:2024全國(guó)先進(jìn)涂層與薄膜技術(shù)應(yīng)用發(fā)展大會(huì)
會(huì)議時(shí)間:6.18-19
會(huì)議地點(diǎn):蘇州-在水一方大酒店,江蘇省蘇州市相城區(qū)尊園路1號(hào)
新聞中心
鵬城半導(dǎo)體亮相聚焦“卡脖子”和“前沿必爭(zhēng)”領(lǐng)域-2025中國(guó)材料大會(huì)
全球MBE市場(chǎng)穩(wěn)步增長(zhǎng),中國(guó)鵬城半導(dǎo)體突破技術(shù)壟斷
轉(zhuǎn)發(fā) 科創(chuàng)要聞 | 豐富形式促服務(wù) 精準(zhǔn)服務(wù)助創(chuàng)新
展會(huì)邀請(qǐng)|鵬城半導(dǎo)體誠(chéng)邀您參加第七屆全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)(重慶)博覽會(huì)