總程系統(tǒng)
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設備整體為cluster結構，由光電轉換薄膜沉積系統(tǒng)、MAMS 電子剝離系統(tǒng)、排氣封裝系統(tǒng)、吸氣材料真空涂敷系統(tǒng)、整體除氣系統(tǒng)組成?？蓪崿F(xiàn)整體自動協(xié)調操作，也可各系統(tǒng)獨立運行，互不干擾，系統(tǒng)間可設置互鎖。316材質制造，預留若干法蘭接口。
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